​ CNC精密（mì）零配件（jiàn）加工的特點

     超精密零配件加工方法的特點是對（duì）外表層物質（zhì）去除或添加的量能夠作極細微的控製。但是要獲得cnc超精密（mì）零件加工精度，仍（réng）有賴於精密的加工設備和準確的克製係統，並（bìng）采用超精密掩膜作中介（jiè）物。例如超大規模（mó）集成電路的製版即使采用電子束對掩膜上的（de）光致抗蝕劑（見光刻（kè））舉行曝射，使光（guāng）致抗蝕劑的原子在電子（zǐ）撞擊下直接（jiē）聚合(或分解)，再用顯影（yǐng）劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，製成掩膜。電子束曝射製版必（bì）要（yào）采（cǎi）用工作台定位（wèi）精度高達±0.01微米的超精密加工設備（bèi）。

    超精密零配件加工，主要有超精密車削、鏡麵磨削和研（yán）磨（mó）等（děng）。在（zài）超精密車床上用通過精細研磨的單晶（jīng）金剛（gāng）石車刀舉（jǔ）行微量車（chē）削,切削厚度僅1微米左右，常用於加工有色金（jīn）屬材料的球麵、非球麵和平麵的（de）反（fǎn）射鏡等高精度、外表高度光（guāng）潔的零（líng）件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射鏡（jìng），高精度可達0.1微米，外表粗糙度為（wéi）Rz0.05微米。

     超（chāo）精密零配件加工精度以納米（mǐ），甚至後以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時（shí），超精密零（líng）件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零（líng）配件加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯合能，從而去（qù）除工（gōng）件外表的部分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達（dá）到超精密加工的目的。屬於這類加工的有機械（xiè）化學拋光（guāng）、離子濺射和離子注入、電（diàn）子（zǐ）束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分（fèn）子（zǐ）束外延等。